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sur 2024/05/17

Sumitomo Heavy Industries lancera des machines d'implantation Sic Ion au Japon

Selon les rapports des médias étrangers, la filiale de Sumitomo Heavy Industries, Sumitomo Ion Technology, lancera des machines d'implantation ioniques pour les semi-conducteurs de puissance de carbure de silicium (SIC) sur le marché dès 2025.

La plupart des équipements utilisés dans le processus SIC sont les mêmes que les lignes de production de silicium traditionnelles, mais en raison de la dureté élevée du sic, des équipements de production spéciaux sont nécessaires, tels que des machines d'implantation ionique à haute température, des machines à pulvérisation de film de carbone, une production de masse élevée-Mépères de recuit à température, etc. Parmi eux, la présence de machines d'implantation ionique à haute température est un critère important pour mesurer les lignes de production SIC.


Selon le rapport, l'équipement d'implantation ionique injecte des ions d'impuretés tels que le phosphore et le bore dans la tranche pour changer ses propriétés électriques.Pour les tranches de silicium, un traitement thermique est effectué après l'implantation ionique pour restaurer la cristallinité.Cependant, pour le SIC, il est difficile de restaurer la cristallinité uniquement par traitement thermique après implantation ionique.La méthode habituelle consiste à chauffer la puce SIC à environ 500 degrés Celsius, puis à effectuer l'implantation d'ions et le traitement thermique.En raison de son processus de fonctionnement complexe, les semi-conducteurs sic ont le problème de rendement inférieur à celui des semi-conducteurs en silicium.

Cette fois, Sumitomo Heavy Industries Ion Technology prévoit d'améliorer la méthode d'implantation ionique de ses produits lancés, tout en maintenant la qualité du SIC et l'augmentation de la production.

En raison de facteurs tels que des difficultés techniques élevées et une validation difficile des processus, il existe des barrières compétitives élevées et une concentration élevée de l'industrie dans l'industrie de la machine d'implantation ionique.Dans l'ensemble, l'ensemble du marché est principalement monopolisé par American Applied Materials Company et American Axcelis Company, représentant plus de 70% du marché mondial.

Les dernières données de Trendforce Consulting montrent que le SIC accélère toujours sa pénétration sur les marchés des applications tels que les automobiles et les énergies renouvelables où la densité et l'efficacité de puissance sont extrêmement importantes.La demande globale du marché maintiendra une tendance de croissance dans les années à venir, et on estime que la taille du marché mondial des dispositifs de puissance SIC devrait atteindre 9,17 milliards de dollars américains en 2028.
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