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sur 2024/04/19

Intel complète l'assemblage de la première machine à lithographie EUV à ouverture numérique commerciale commerciale

Le géant des semi-conducteurs Intel a annoncé le 18e qu'il avait terminé l'assemblage de la première machine de lithographie commerciale numérique à haute ouverture numérique de l'industrie (High-NA EUV) dans son centre de recherche et développement de l'Oregon.


Le fabricant d'équipements de semi-conducteurs ASML a publié des photos sur la plate-forme sociale X à la fin de l'année dernière, montrant le début de l'expédition des principales parties du premier système EUV à ouverture numérique élevé à Intel.Maintenant, Intel a annoncé qu'il avait terminé l'assemblage, démontrant une intention claire de diriger ses concurrents.

Après avoir développé 5 nœuds de processus en 4 ans et s'attendre à ce que les plus avancés atteignent le processus Intel 18A, Intel prévoit d'introduire officiellement l'utilisation de l'ouverture numérique élevée EUV dans son processus Intel 14A à l'avenir.Selon les estimations de l'analyste, le prix de ce dispositif EUV à ouverture numérique élevé était d'environ 250 millions d'euros.

Intel a récemment révélé qu'il développerait le processus 14A et le processus Intel 14A-E avant 2027.

Intel souligne que le dispositif à ouverture numérique élevé Twinscan EXE: 5000 est actuellement en cours d'étalonnage, et cet appareil, combiné avec d'autres technologies dans l'usine de plaquettes de l'entreprise, devrait produire des caractéristiques 1,7 fois plus petites que les appareils EUV existants.

Pendant ce temps, Intel a mentionné que la société avait également prévu d'acheter le système Twinscan EXE: 5200B à l'avenir de la prochaine génération.


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